原子熒光光譜儀利用原子熒光譜線的波長和強度進行物質(zhì)的定性與定量分析的方法。原子蒸氣吸收特征波長的輻射之后，原子激發(fā)到高能級，激發(fā)態(tài)原子接著以輻射方式去活化，由高能級躍遷到較低能級的過程中所發(fā)射的光稱為原子熒光。當激發(fā)光源停止照射之后，發(fā)射熒光的過程隨即停止。
根據(jù)熒光譜線的波長可以進行定性分析。在一定實驗條件下，熒光強度與被測元素的濃度成正比。據(jù)此可以進行定量分析。原子熒光光譜儀分為色散型和非色散型兩類。兩類儀器的結(jié)構(gòu)基本相似，差別在于非色散儀器不用單色器。
1、色散型儀器由輻射光源、單色器、原子化器、檢測器、顯示和記錄裝置組成。
2、輻射光源用來激發(fā)原子使其產(chǎn)生原子熒光。可用連續(xù)光源或銳線光源，常用的連續(xù)光源是氙弧燈，可用的銳線光源有高強度空心陰極燈、無極放電燈及可控溫度梯度原子光譜燈和激光。
儀器的注意事項：
1、從自動進樣器上取下樣品盤，清洗樣品管及樣品盤，防止樣品盤被腐蝕。
2、載液和還原劑應注意及時更換，不要使用放置時間較長的載液和還原劑，測量時應臨配現(xiàn)用。
3、元素燈的預熱必須是在進行測量時點火的情況下，才能達到預熱穩(wěn)定的作用。只打開主機，元素燈雖然也亮著，但起不到預熱穩(wěn)定的作用。、硒燈，特別是雙陰極燈和新燈，要預熱時間長些。
4、熒光調(diào)完光后一定要取下調(diào)光器。
原子熒光光譜儀測試完畢后要進行清洗，點擊清洗程序，把載流、還原劑毛細管放入清水中，點清洗。清洗時，可以用不點火方式清洗儀器。清洗完畢后，再關閉軟件，關主機電源和順序注射器電源，松泵管壓塊，關電腦，關氬氣。
